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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

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光學共聚焦掃描顯微鏡

參  考  價: 950000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號:VT6100

品       牌:CHOTEST/中圖儀器

廠商性質:生產商

所  在  地:深圳市

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更新時間:2024-05-12 20:55:20瀏覽次數:1148次

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產地類別 國產 儀器種類 四轉盤共聚焦顯微鏡
應用領域 電子,航天,汽車,綜合,材料領域 應用領域 電子,航天,汽車,綜合,材料領域
以共聚焦技術為原理的VT6000光學共聚焦掃描顯微鏡,是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。儀器基于共聚焦顯微技術,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,實現器件表面形貌3D測量。

中圖儀器VT6000系列光學共聚焦掃描顯微鏡提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能,還提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能:

粗糙度分析包括依據標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能;

幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;

結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;

頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;

功能分析包括SK參數和體積參數等功能。


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以共聚焦技術為原理的VT6000光學共聚焦掃描顯微鏡,是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。儀器基于共聚焦顯微技術,結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,實現器件表面形貌3D測量。在材料生產檢測領域中能對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。



產品功能

1) 設備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能;

2)一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進行切換界面,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能。

3)提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能。其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區域和提取剖面等功能。

4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設置分析模板,結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。


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